polvorització catòdica

Materials

• ca
  polvorització catòdica f
• es
  pulverización catódica f
• en
  sputtering n
• 1. Polvorització d’un càtode mitjançant el bombardeig d’un material evaporat, de manera que la pols resultant es diposita damunt d’un ànode, sobre el qual forma una capa protectora.
• 2. Procés en el qual es produeix la vaporització d’àtoms d’un material bombardejant-lo amb ions energètics obtinguts d’un plasma que es genera a l’interior de l’equip de polvorització. El procés s’utilitza en la indústria dels semiconductors per dipositar pel·lícules fines sobre silici o també sobre vidre per a aplicacions d’òptica.